连云港防爆空调

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　　Ebert等［46］在经过O2／CF4等离子刻蚀的PDMS表面，分别采用C4F8等离子改性和常温气相沉积PFOTCS进行改性制备了超疏水表面，并对其超疏水性能进行了鉴定。综上所述，采用常温常压CVD技术改性制得的超疏水膜层相较于sol－gel法等液相法改性制得的膜层疏水性、均匀性、化学稳定性和环境耐久性均更优异。但该方法制得的超疏水膜层的疏水层很薄，通常为单分子或几个分子层厚度，耐冲击和磨损能力弱，仅能用于不受力的场合。离子增强化学气相沉积PECVD是指借助外部所加电场的作用引起放电，使原料气体成为等离子体状态，变为化学上非常活泼的激发分子、原子、离子和原子团等，促进化学反应，在基材表面形成薄膜。PECVD具有常温常压CVD技术的绝大多数优点，并且由于等离子体的作用及等离子体参与反应，使反应物和基材表面均产生大量离子、自由基和亚稳态物质等活性基团，降低反应发生的温度，缩短反应时间，使热力学上难以发生的反应变为可能，促进化学反应的进行。